日本FUJIKIN富士金手动球形三向振膜阀FUNDLTB-71G-6.35的应用

日本FUJIKIN富士金手动球形三向振膜阀FUNDLTB-71G-6.35的应用

日本Fujikin（富士金）‌ 是一家创立于1930年的日本精密技术企业，以“挑战技术界限、超越技术局限"为理念，从初的管道材料批发商发展为全球的‌精密流体控制设备制造商‌。其产品广泛应用于半导体制造、航空航天、氢能、食品、二次电池等高精尖领域，是支撑现代工业极限制造的关键力量。

‌产品体系‌

1. ‌高纯度阀门系列‌

专为半导体制造中洁净环境设计，控制高纯度气体（如硅烷、氨气）的输送，防止微粒污染。

• ‌New Mega系列膜片阀‌：采用全金属密封结构，耐高温高压，适用于CVD、蚀刻等工艺。

• ‌Mega系列膜片阀‌：具备极低的颗粒释放特性，满足Class 1洁净室要求。

• ‌标准系列 & 高温阀系列‌：覆盖常规与高温工况下的气体控制需求。

• ‌两段切换式气动阀‌：实现气体供应的平稳切换，避免工艺中断。

2. ‌精密陶瓷阀门‌

利用自主研发的‌精细陶瓷材料‌，具备强耐腐蚀、耐磨损性能，适用于强酸、强碱等恶劣工况。

• ‌精密陶瓷球阀‌：可长期运行于pH 0~14环境，广泛用于化工与环保设备。

• ‌陶瓷控制阀‌：用于高磨损浆料或腐蚀性液体的流量调节。

3. ‌大口径阀门系列（子品牌Carten）‌

面向大宗气体（BULK GAS）和液化气罐系统，提供高流量、高可靠性的控制解决方案。

• ‌波纹管阀HFC系列‌：零泄漏设计，适用于液氧、液氮等低温介质。

• ‌膜片阀SPDS系列 & 球阀CBV系列‌：支持自动化控制，集成于大型供气系统中。

4. ‌高纯管件与接头系统‌

确保气体传输路径的完整性与洁净度。

• ‌V-lok系列卡套接头‌：一键锁紧，防误操作，广泛用于半导体厂的Gas Panel。

• ‌F900系列卡套接头 & UPG/UPR接头系列‌：支持多种管径与压力等级，适配复杂管路布局。

5. ‌流体控制系统与模块化装置‌

将阀门、流量计、传感器等集成于一体，提供即插即用的工艺解决方案。

• ‌IGS模组化气体供应系统‌：用于半导体前道工艺，实现多气体混合与分配。

• ‌FCS-T2000热式流量计 & FCS-P压力式流量计‌：实时监控气体流量，保障工艺稳定性。

‌主要应用领域‌

‌技术优势与行业地位‌

• ‌洁净度‌：产品可在Class 1（每立方英尺0.1μm颗粒≤1个）环境下使用，满足严苛的半导体工艺要求。

• ‌材料‌：全球将精细陶瓷应用于工业阀门，解决强腐蚀难题。

• ‌全球化布局‌：在日本、美国、爱尔兰、中国（上海、苏州）、韩国、越南等地设有生产基地与销售网络。

• ‌本土化服务‌：富士金阀门（上海）有限公司提供销售、技术支持与售后服务，曾接受央视《非凡匠人》专题报道。