日本进口MIYUKI美幸辉真空直通阀GAR-J200B的应用

更新时间：2026-05-21

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日本进口MIYUKI美幸辉真空直通阀GAR-J200B的应用

日本MIYUKI美幸辉是一家专注于高精度真空与流体控制系统的日本工业设备制造商，其产品主要服务于半导体、光伏、真空镀膜、科研实验室等制造与科研领域，以‌高洁净度、超低泄漏率、精密控制‌为核心技术优势。

表格

产品类别	代表性型号	核心技术特点	应用场景
‌真空控制蝶阀‌	G-J350、GAR-J300、BAR-J300	- 超薄面间设计，降低流阻 - 泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s - 阀体材质：SUS304不锈钢 - 氟橡胶（FKM）O型圈密封 - 无背隙电机直驱，支持微米级开度调节	半导体刻蚀与沉积、真空镀膜、高纯度气体管路系统
‌自动压力控制器‌	MGCS-11、MG-mini485	- 控制精度±0.1%~±0.5% - 支持7组PID记忆与双传感器输入 - 4英寸触摸屏操作 - RS-232C/RS-485通信，支持远程控制 - 断电自动保持或关闭（可选UPS）	实验室压力稳定系统、真空腔体压力闭环控制、工艺气体精准调节
‌气动L型阀‌	AEH-N16、IV/IP系列	- 常开/常闭可选 - 泄漏率≤1×10⁻⁸ Pa·m³/s - 工作压力范围：10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa - 气动+弹簧复位，支持任意位置停靠	真空容器大气恢复、排气控制、洁净室压力平衡
‌电动/气动闸阀‌	GR系列、GH系列、GL系列	- 手动/气动/电动驱动可选 - 软密封结构，耐腐蚀 - 适用于油品、惰性气体等介质	工业管路切断、真空系统主阀、化工流体控制