微型阀 MV 神崎贸易进口 OHKURA大仓
微型阀 MV/CF・CFL 神崎贸易进口 OHKURA大仓

微型阀 MV 神崎贸易进口 OHKURA大仓

微型阀 MV 神崎贸易进口 OHKURA大仓

一、基础性能参数

1. 流量控制范围

• 标准量程：覆盖 5 SCCM（毫升 / 分钟）至 500 SLM（升 / 分钟），支持多档可选（如 CF-100B 为 0-100 SCCM，CFL-500D 为 0-500 SLM）。

• 最小稳定流量：≤0.1 SCCM（高精度型号），适用于微量气体控制。

2. 压力特性

• 最大工作压力：1.0 MPa（10 bar），耐压 1.5 MPa（符合 ISO 13485 标准）。

• 压力损失：≤3 kPa（标准流量下），降低系统能耗。

• 适用真空度：支持 10⁻⁶ Pa 超高真空环境（需搭配 CF 法兰密封）。

3. 响应特性

• 气体介质：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s（氦气检测，符合 UL 94 V-0 标准）。

• 液体介质：≤1×10⁻⁶ mL/min（水介质）。

• 阶跃响应时间：≤10 ms（直动式）或≤50 ms（先导式），满足高频次切换需求。

• 泄漏率：

二、材质与结构设计

1. 主体材料

• 常规气体：氟橡胶（Viton）或全氟醚橡胶（FFKM），耐温 - 20℃至 200℃。

• 超高纯度气体：金属波纹管密封（泄漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s），适用于半导体制造。

• 阀体：SUS316 不锈钢（标准型）或哈氏合金（耐腐蚀型），表面电解抛光处理（粗糙度 Ra≤0.2μm）。

• 密封件：

2. 连接方式

• 标准接口：1/4 英寸 Swagelok 卡套接头或 VCR 接头（超高纯度场景）。

• 特殊定制：CF 法兰（Conflat）接口，支持真空环境安装。

3. 外形尺寸

• 紧凑型：长度≤50 mm，宽度≤30 mm，重量约 150 g（CF-100B 型号）。

• 集成式：可模块化组合（如 CFL-400M 支持 4 路并联），节省安装空间。