- 厂家供应
- 长期现货
- 原装进口
服务热线：
13921958838
服务热线：
13921958838
在线咨询
联系电话：
神崎ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A
神崎ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A
MS型真空泵属于螺杆式干式真空泵。该泵基于传统的LS型真空泵，是一款耐腐蚀、粉末排出性能更佳的工艺用干式真空泵。专为涉及腐蚀性气体和粉末排出的真空工艺而设计。
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊的表面处理，实现了高耐腐蚀性。
ULVAC独特的螺旋式转子轴设计实现了较高的粉末排放性能。
从大气压到极限压力的整个压力范围内均可连续运行。
电子零件及半导体制造设备
、蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等的真空排气系统。
真空热处理炉、
烧结炉、渗碳炉等真空排气系统。
锂电池制造设备真空排气系统
、电极干燥设备、脱气设备、注液设备等。
医疗、食品相关设备用真空排气
冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
*MS1200A 可提供其他控制板和传感器规格。详情请联系我们。
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大抽速*1 | 立方米/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 爸爸 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源电压 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 大约耗电量*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体量*1 | 空间光调制器 | 0~50 | ||
| 最大水蒸气处理量 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音水平*2 | 分贝（声级） | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | KF50（卧式）/ VG50（立式） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 合规标准 | CE、cTUVus | |||
| 标准配件 | 快速手册、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器防护罩、专用消音器套装 | |||
| 主机选项 | 电源电压：200V或400V级 密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟弹性体（FFKM） | |||
| 外部选项 | 外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元（进气口、信号）、吹扫气阀 | |||
我的位置：
