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ULVAC爱发科干式真空泵GR60神崎优势现货
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干式真空泵“型号：GR"是基于久经考验的可靠“型号：LR/HR"而设计的结构简单的泵，适用于一般工业用途。
可用于高负荷应用，例如从大气压到真空的重复抽气以及在高压范围内的连续运行
非常适合需要高吞吐量的负载锁室（装载/卸载室）的排气
与通用感应电机兼容
可安装防爆电机及其他特殊电机（选配）
多电压兼容电机
空气、惰性气体等洁净气体的真空抽吸
各种成膜设备装料室、卸料室的排气
真空干燥、真空气体置换、真空脱气等一般工业应用
真空和气体置换，例如真空绝缘和气体填充
| 模型 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时（升/分钟） | 62（1860年） | 112(1030) | 183（3100） | |||
| 60赫兹 | 立方米/小时（升/分钟） | 80(1333) | 126（2100） | 237（3850） | ||||
| 极限压力*1 | 爸爸 | 5.0 | ||||||
| 最大入口压力 | 气压 | |||||||
| 最大出口压力 | 爸爸 | 1至大气压 | ||||||
| 进气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 发动机 | 输出功率[千瓦] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压[伏] | 50赫兹 | 200~240/380~415 | ||||||
| 60赫兹 | 200~240/380~460 | |||||||
| 大量的 | 公斤 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供给压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 进/出压差 | 兆帕 | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | 摄氏度 | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水考虑 | 升/分钟 | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次供给压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||
| 二次侧 调整压力*3 | 兆帕 | 0.05至0.1（运行期间） | ||||||
| 轴 | 空间光调制器 | 5.0 *4 | ||||||
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